ATmegaxxx = Флеш-память до 256 Кб; SRAM до 16 Кб; EEPROM до 4 Кб;аппаратный умножитель
ATХmegaxxx = Флеш-память до 384 Кб; SRAM до 32 Кб; EEPROM до 4 Кб, четырёхканальный DMA-контроллер
цифры после префикса обозначают объём встроенной flash-памяти (в КБ) и модификацию контроллера. А именно — максимальная степень двойки, следующая за префиксом, обозначает объём памяти, а оставшиеся цифры определяют модификацию - ATmega128 — объём памяти 128 КБ
ATmegaxxхA — уменьшен ток потребления, перекрывается весь диапазон тактовых частот и напряжений питания предыдущих версий , сохранена полная совместимость с предыдущими версиями .